Inovativni interferometri s bijelim svjetlom tvrtke Micro-Epsilon iz serije interferoMETER dizajnirani su za apsolutna, beskontaktna mjerenja udaljenosti s najvišom preciznošću. S novim IMP DS35/VAC, Micro-Epsilon proširuje svoj portfelj senzora modelom posebno dizajniranim za vakuumski kompatibilna okruženja, sve do ultra-visokog vakuuma. Senzor kombinira veliku radnu udaljenost od približno 35 mm s rezolucijom manjom od 1 nm, što ga čini posebno pogodnim za zahtjevne mjerne zadatke gdje su točnost, stabilnost procesa i integrabilnost ključni.

Velika radna udaljenost za nove primjene

IMP DS35/VAC nudi mjeriteljski raspon od 2,1 mm s početnom udaljenošću od približno 35 mm. To omogućuje precizna mjerenja udaljenosti s sigurne udaljenosti, na primjer tijekom nadzora položaja u proizvodnji staklenih pločica ili pri mjerenju premazanih pločica. Velika radna udaljenost također olakšava primjenu na nisko postavljenim ili teško dostupnim mjestima za mjerenje. S promjerom mrlje od samo 15 µm, čak se i male strukture mogu pouzdano otkriti, dok kut mjerenja od ±1° osigurava stabilne rezultate mjerenja u zahtjevnim situacijama instalacije.

Visoka preciznost u kombinaciji s kontrolerima visokih performansi

IMP DS35/VAC ima robusno kućište od nehrđajućeg čelika i dizajniran je za upotrebu u vakuumskim okruženjima sve do UHV-a. Novi senzor dostupan je za upravljače IMS5400 i IMS5400MP, omogućujući razlučivosti manje od 1 nm i linearnosti manje od ±50 nm. To sustav čini pogodnim za visokoprecizna mjerenja udaljenosti u modernim proizvodnim i ispitnim procesima. Nadalje, kontroler IMS5400MP omogućuje provođenje mjerenja udaljenosti do više vrhova na do 13 slojeva. To otvara dodatne mogućnosti za analizu prozirnih, premazanih ili višeslojnih materijala.